光刻机国产化破局！28nm DUV整机交付背后，光学、工件台、光源等核心供应商受益

财通证券研报指出，光刻机是半导体制造的“皇冠”，上海微电子28nm DUV光刻机（SSA800）的批量交付（国产化率超85%）是国产替代的里程碑事件。这意味着国产光刻产业链从“实验室”正式迈入“晶圆厂量产线”，核心零部件（光学、工件台、光源）和整机配套企业将迎来业绩兑现期。标的：汇成真空、芯碁微装。