据证券时报报道,美光公司计划率先支持佳能的纳米印刷技术,从而进一步降低生产DRAM存储芯片的单层成本。美光在近日演讲中表示,由于光学系统本身性质,DRAM层的图案很难用光学光刻技术进行印刷,而纳米打印方式可以用更精细的方式打印出来,且鉴于纳米印刷技术应用成本是沉浸式光刻技术的五分之一,因此是非常不错的解决方案。
佳能于2023年10月公布FPA-1200NZ2C纳米压印光刻(NIL)半导体设备,预计最快将于今年出货,将为芯片生产开辟了一条新的途径。此前,内存大厂SK海力士也引入了佳能纳米压印机,用于进行3D NAND的生产测试。
证券时报指出,纳米压印是一种微纳加工技术,它采用传统机械模具微复型原理,能够代替传统且复杂的光学光刻技术。相较于目前已商用化的EUV光刻技术,纳米压印技术可大幅减少耗能,并降低设备成本。另外,纳米压印设备还可以使得芯片制造商降低对于ASML的EUV光刻机的依赖,使得台积电、三星等晶圆代工厂可以有第二个路线选择,可以更灵活地为客户生产小批量芯片。分析师认为,纳米压印技术在特定领域有替代传统光学光刻的可能,随着下游应用领域扩大以及该技术渗透率提升,该市场有望持续成长。
公司方面,据证券时报表示,
苏大维格:公司自研纳米压印光刻设备并批量复制的微纳光学全链条技术能力,对市场需求、技术迭代等反应迅速,可为客户提供从初始设计到产成品的定制化技术服务。
利和兴:公司全自动纳米压印生产线技术运用自动控制相关技术,结合纳米压印的纳米模压技术与固化技术,可把纳米压印行业内的单机手工作业方式改变为全工序自动化方式。
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