电子特气属于半导体材料的一个分支,是半导体制造过程中仅次于硅片的第二大关键材料,被誉为半导体工业的“血液”和“粮食”。
相较于一般工业气体,电子特气对纯度、质量稳定性等具有更高要求。
一般的纯度要求是99.999%(5N)及以上,大规模集成电路要求达99.9999%(6N)以上,制程越先进,对纯度和杂质含量的要求越严格,气体中任何微量残存的杂质都可能造成半导体短路或线路损坏。
电子特气贯穿半导体制造全流程,从硅片制造到最终器件封装,几乎每一步都离不开电子特气。
比如最开始的把沙子提炼成硅片的工序,就需要在电子特气环境中进行,以维持惰性环境。
还有DUV光刻机的光源,需要给电子特气施加高压电场,电子撞击气体原子后发出激光。
目前的国际市场由海外巨头垄断,美国空气化工、法国液化空气、德国林德集团、日本大阳日酸等四大国际巨头垄断全球电子气体70%以上市场份额。
那么问题来了,国内有哪些电子特气相关的玩家?
中船特气,国内电子特气收入规模最大的企业,唯一进入全球前十(第九名)的中国企业,三氟化氮产能全球第一,六氟化钨产能居全球前列,对中芯国际、长江存储、台积电、海力士等全球头部晶圆厂实现全覆盖。
华特气体,光刻气领域的绝对领军者,国内唯一同时通过荷兰ASML和日本GIGAPHOTON认证的气体公司,实现进口替代的特气产品超50种。
南大光电,国产氢类电子特气的领军企业,打破国外技术垄断,同时是含氟电子特气主要生产商,客户覆盖中芯国际、长江存储、台积电等全球一线厂商。
昊华科技,央企背景,含氟电子特气领导者,六氟丁二烯产能全球第一,三氟化氮产能位居全国前三,是国内最大的电子级六氟化硫供应商。
金宏气体,国内特种气体和大宗气体综合供应商,在超纯氨、高纯氧化亚氮等细分品种上市占率高,已正式供应SK海力士、中芯国际等头部客户。
雅克科技,半导体材料平台型公司,电子特气业务主要通过子公司开展,重点用于半导体刻蚀,客户包括SK海力士、三星、中芯国际、长江存储等。
电子特气是国产替代的重点方向之一,国内企业在部分品种上已具备国际竞争力的技术水平,并已进入中芯国际、长江存储等头部客户供应链,国产替代空间广阔。
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